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XYZ三軸式精密平臺技術(shù)參數(shù)：
1.采用單片機(jī)控制，運行機(jī)構(gòu)是直線電機(jī)與傳統(tǒng)的伺服電機(jī)+螺桿或同步帶相比較可以獲得更高的重復(fù)定位和高速度。
2.重復(fù)定位精度：±0.5μm 。 定位精度 ：±1μm 。最高速度?。?000mm/s。
3.負(fù)載可以達(dá)到3公斤。可以與激光測量儀，激光切割機(jī)，點膠機(jī)等配合實現(xiàn)高精密的測量切割點膠放點等。
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